Увеличьте число inodes на диске

Если резервное копирование и переформатировало, опция, можно использовать опцию -N mkfs.ext4:

-N number-of-inodes
      Overrides the default calculation of the number of  inodes  that
      should  be  reserved  for  the filesystem (which is based on the
      number of blocks and the bytes-per-inode  ratio).   This  allows
      the user to specify the number of desired inodes directly.

я перерыл man tune2fs, но кажется, что это число не может быть изменено в существующей файловой системе (tune2fs, команда, используемая для изменения ext2-4 файловая система).